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TU Berlin

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Forschung

Im Fachgebiet HLB werden Bauelemente einmal in einer ganz anderen Weise erforscht: Technologie und Simulation stellen sich in den Dienst von Charakterisierungs- und Analysetechniken, die in Integrierten Schaltungen (ICs) für Debug & Diagnose in der Schaltungsverifikation auf Silizium-Level, in der lokalen Funktionsanalyse von elektronischen Systemen aller Art wie in der Photovoltaik oder in Höchstfrequenztechnik erforderlich sind.

Moderne ICs lassen eine Inspektion durch die Chipoberseite nur noch stark eingeschränkt zu und erfordern ein neues System von Verfahren für physikalische Funktionsanalyse durch die Chiprückseite. Die unverzichtbare Schaltungsmodifikation (Circuit Edit) mit Focused Ion Beam (FIB), ein schneller exemplarischer Check von IC-Korrekturen ohne neuen Maskensatz durch Auftrennung von fehlerhaften Schaltungsteilen und Schaffung neuer Verbindungen durch lokales Abscheiden von Leiterbahnen, muss ebenso durch die Chiprückseite erfolgen.

HLB forscht an Geräten auf dem Stand der Technik und mit Device-Simulation, um solche Techniken für die Herausforderungen der Nanoelektronik zu entwickeln. Diese Forschung ist einzigartig in Deutschland. Sie ist wichtig sowohl für die Equipment-Hersteller als auch für die Anwenderfirmen, entsprechend werden weltweit Kooperationsprojekte durchgeführt. Diese Analysekompetenz wird bei der Beteiligung von HLB an dem Photovoltaik- Kompetenzzentrum für Dünnschicht- und Nanotechnologie Berlin (PVComB www.pvcomb.de) sowie in gemeinsamen Projekten mit anderen Forschungsinstituten genutzt und weiterentwickelt.

Das Fachgebiet ist mit mehreren Best Paper Awards und eingeladenen Vorträgen auf international angesehenen Konferenzen ausgezeichnet und beweist die Praxistauglichkeit seiner Resultate durch Analyse-Service für externe Kunden.

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